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Projekt
UV-Nanoimprint Lithographie Einheit
Fachliche Zuordnung
Produktionstechnik
Förderung
Förderung in 2011
Projektkennung
Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 194183009
Keine Zusammenfassung vorhanden
DFG-Verfahren
Forschungsgroßgeräte
Gerätegruppe
0910 Geräte für Ionenimplantation und Halbleiterdotierung
Antragstellende Institution
Hochschule Kaiserslautern
