UV-Nanoimprint Lithographie Einheit

• Subject Area: Production Technology
• Term: Funded in 2011
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 194183009

No abstract available

• DFG Programme: Major Research Instrumentation
• Instrumentation Group: 0910 Geräte für Ionenimplantation und Halbleiterdotierung
• Applicant Institution: Hochschule Kaiserslautern
• Leader: Professor Dr. Sven Ingebrandt