Auswirkungen von Plasmaeigenschaften auf Schichteigenschaften in gepulsten Hochleistungsplasmen (C06)

• Fachliche Zuordnung: Beschichtungs- und Oberflächentechnik
• Förderung: Förderung von 2010 bis 2022
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 138690629

In C06 als Teilprojekt im Plasma-Oberflächenmodell (PSM) stehen die Validierung der Methodik zur Prozessanalyse in einer großskaligen Beschichtungsanlage und die Übertragung der entwickelten Diagnostikmethoden hin zu einer produktionstauglichen Prozessdiagnostik für gepulste Hochleistungsplasmen im Fokus. Erstmals wird die substratseitige Reinigungswirkung des Plasmaätzens zur Haftungssteigerung auf Stahl- und Kunststoffsubstraten diagnostisch untersucht. Ein weiterer Schwerpunkt besteht im Aufbau und in der Validierung künstlicher neuronaler Netzwerke für die Zusammenhänge Prozess-Plasma, Plasma-Schicht und Schicht-System. C06 leistet einen zentralen Beitrag zur Überwindung der empirischen Vorgehensweise bei der Schichtentwicklung.

• DFG-Verfahren: Transregios
• Teilprojekt zu: TRR 87: Gepulste Hochleistungsplasmen zur Synthese nanostrukturierter Funktionsschichten
• Großgeräte: Plasmamonitorsystem
• Gerätegruppe: 8330 Vakuumbedampfungsanlagen und -präparieranlagen für Elektronenmikroskopie
• Antragstellende Institution: Ruhr-Universität Bochum
• Teilprojektleiterinnen / Teilprojektleiter: Dr.-Ing. Nazlim Bagcivan, von 7/2014 bis 8/2014; Professorin Dr.-Ing. Kirsten Bobzin; Dr.-Ing. Tobias Brögelmann, von 7/2018 bis 2/2021