Raster-Auger-Mikroskopie-Anlage

• Fachliche Zuordnung: Physik der kondensierten Materie
• Förderung: Förderung in 2010
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 159808768

Für die von den Antragstellern durchgeführten und geplanten Projekte, wie z.B. die Analyse vonDünnschichtsystemen, Ausscheidungsverhalten, Nanoteilchen und Korrosionsprozessen, ist diemikroskopische und chemische Analyse von Oberflächen auf nm-Skala mit sehr hoherOberflächenempfindlichkeit erforderlich. Die notwendigen Spezifikationen sind durch die Vereinigungvon Auger- und Rasterelektronenmikroskopie sowie Photoemissionsspektroskopie in einem Geräterreichbar. Die laterale Auflösung der Auger- und Rasterelektronenmikroskopie im beantragten Gerätliegt im Nanometerbereich. Die Informationstiefe sowohl der Auger-Elektronen-Spektroskopie als auchder Photoelektronenemissionsspektroskopie liegt im Bereich weniger Nanometer. An ein undderselben Stelle der Probe ist somit die Bestimmung der Topographie, der enthaltenen Elementesowie deren Bindungszustände möglich. Mit Hilfe von Ionensputtern ist des Weiteren die Aufnahmevon Auger-Tiefenprofilen möglich, wobei sowohl die laterale Auflösung wie auch die Tiefenauflösungim nm-Bereich liegt.“

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Gerätegruppe: 1780 Photoelektronenspektrometer (UPS und XPS)
• Antragstellende Institution: Universität Augsburg
• Leiter: Professor Dr. Siegfried Rüdiger Horn