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Person
Professor Dr.-Ing. Claas Müller
Adresse
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
Institut für Mikrosystemtechnik (IMTEK)
Georges-Köhler-Allee 103
79110 Freiburg
- Als Antragsteller
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Als Leiter
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abgeschlossene Projekte
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Plasmabehandlung/beschichtung mit integrierter Metall-/Isolatorbeschichtung (Forschungsgroßgeräte)
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Maskless Aerosol Deposition Anlage (Forschungsgroßgeräte)
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Anlage zur elektrophoretischen Funktionsschichtabscheidung (Forschungsgroßgeräte)
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abgeschlossene Projekte
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Als beteiligter Wissenschaftler
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abgeschlossene Projekte
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GRK 1322: Energy Harvesting für Mikrosysteme (Graduiertenkollegs)
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abgeschlossene Projekte
- Als Teilprojektleiter
