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Person

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Privatdozent Dr. Peter Pichler

Adresse Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie (IISB)
Abteilung Bauelemente
Schottkystraße 10
91058 Erlangen

Projekte

Als Antragsteller
- abgeschlossene Projekte
  - Atomlagenabscheidung von Dotierstoffquellen für die Dotierung von Halbleiterstrukturen - Charakterisierung und Modellierung der Drive-In Prozesse (Sachbeihilfen)
Als Beteiligte Person
- abgeschlossene Projekte
  - Experimentelle Bestimmung der thermodynamischen und kinetischen Eigenschaften von Gitterleerstellen in Silicium (Sachbeihilfen)

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