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Institution
Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB)
Abteilung 5 - Fertigungsmesstechnik
Fachbereich 5.2: Dimensionelle Nanometrologie
Adresse
Bundesalle 100
38116 Braunschweig
Deutschland
38116 Braunschweig
Projekte
Sachbeihilfen
abgeschlossene Projekte
Charakterisierung der Wechselwirkung von AFM-Sonden an stark geneigten Oberflächen bei Oszillationsmodus-AFM zur quantitativen Bestimmung dimensioneller Parameter von Nanostrukturen mit hohem Aspektverhältnis
(Antragstellerin
Hüser, Dorothee
)
Neuartige dreidimensionale Formmesstechnik für schnell rotierende Objekte
(Antragsteller
Czarske, Jürgen W.
)
Virtuelles Rasterelektronenmikroskop (vREM)
(Antragsteller
Bosse, Harald
;
Tutsch, Rainer
)
Graduiertenkollegs
abgeschlossene Projekte
GRK 1952: Metrologie komplexer Nanosysteme - NanoMet
(Sprecher
Schilling, Meinhard
)
Zusatzinformationen
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