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Institution
Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB)
Abteilung 5 - Fertigungsmesstechnik
Fachbereich 5.2: Dimensionelle Nanometrologie
Address
Bundesalle 100
38116 Braunschweig
Deutschland
38116 Braunschweig
Projects
Research Grants
Completed projects
Charakterisierung der Wechselwirkung von AFM-Sonden an stark geneigten Oberflächen bei Oszillationsmodus-AFM zur quantitativen Bestimmung dimensioneller Parameter von Nanostrukturen mit hohem Aspektverhältnis
(Applicant
Hüser, Dorothee
)
Novel three dimensional shape measurement technique for fast rotating objects
(Applicant
Czarske, Jürgen W.
)
Virtuelles Rasterelektronenmikroskop (vREM)
(Applicants
Bosse, Harald
;
Tutsch, Rainer
)
Research Training Groups
Completed projects
GRK 1952: Metrology for Complex Nanosystems - NanoMet
(Spokesperson
Schilling, Meinhard
)
Additional Information
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