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Institution
Technische Universität Darmstadt
Institut für Halbleitertechnik und Nanoelektronik
Fachgebiet Halbleitertechnik der Mikro- und Nanoelektronik (aufgelöst)
Adresse
Schlossgartenstraße 8
64289 Darmstadt
Deutschland
64289 Darmstadt
Projekte
Sonderforschungsbereiche
abgeschlossene Projekte
In Silizium integrierter Sensorkopf zur berührungslosen Erfassung von Drehmomenten
(Teilprojektleiter
Langheinrich, Werner
)
Zusatzinformationen
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