FIB/REM (SALVE II)
Final Report Abstract
Das FIB/REM-System wurde im Rahmen des Großprojektes SALVE (sub-Angstrom low voltage electron microscopy) angeschafft. Haupteinsatzaufgabe waren die Erstellung dünnster TEM-Lamellen von klassischen Materialien weil Halbleiterschichtsysteme, Keramiken, Metalle zu nachfolgenden Untersuchung im SALVE-TEM. Das Gerät konnte nach Inbetriebnahme im April 2010 bereits sehr schnell zur Präparation von TEM-Lamellen eingesetzt werden. Im Rahmen der Arbeiten des DFG-Projektes wurde ein neuartiger Probenhalter zur Erstellung von TEM-Lamellen innerhalb eines FIB/REM entwickelt und zum Patent angemeldet, die Methode wurde unter anderem in einem Projekt DFG-Projekt anhand der Präparation von Nickelatstrukturen getestet. Inzwischen erfolgten auch Patentvergaben für die EU, USA, Japan und China. Die entsprechende Methode (X2-Holder genannt) wurde nach der Patentierung auch in Fachzeitschriften beschrieben und von uns weiterentwickelt, um auch die Nachbearbeitung der TEM-Lamellen in anderen Systemen zu ermöglichen. Die weitere wichtige Anwendung (neben der TEM-Lamellen-Präparation) des FIB/REMs liegt in der drei-dimensionalen Charakterisierung von Proben mittels Tomographie. Hier werden durch Schneiden mittels Ionenstrahl und nachfolgendem Bildeinzug mit dem Elektronenstrahl Schnittbilder erstellt, die eine 3D-Rekonstruktion ermöglicht. Wesentliche Forschungsergebnisse wurden in dem BMBF-Projekten „LuLi – effiziente und sichere Li-Batterien“ und „Li-EcoSafe – effiziente und sichere Li-Batterien“ erzielt und in entsprechenden Veröffentlichungen in Fachzeitschriften dargestellt.
Publications
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M. Marinaro, U. Riek, S. K. Eswara-Moorthy, J. Bernhard, U.Kaiser, M. Wohlfahrt-Mehrens and L. Jörissen
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S. K. Eswara-Moorthy, P. Balasubramanian, W. van Mierlo, J. Bernhard, M. Marinaro, M. Wohlfahrt-Mehrens, L. Jörissen, and U. Kaiser
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W. van Mierlo, D. Geiger, A. Robins, M. Stumpf, M. L. Ray, P. Fischione and U. Kaiser
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H. Y. Qi, M. K. Kinyanjui, X. D. Chen, J. Biskupek, E. Benckiser, H.-U. Habermeier, B. Keimer, U. Kaiser
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E. Holmström, J. Kotakoski, L. Lechner, U. Kaiser, K. Nordlund
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