Hochauflösendes Rasterelektronenmikroskop
Systems Engineering
Final Report Abstract
Mit dem Einsatz des hochauflösenden Rasterelektronenmikroskops wurden die Voraussetzungen für die Forschungen im Bereich Nanotechnologie am Lehrstuhl Zacharias und am IMTEK/Freiburg aufgebaut. Es ist die Basis der Arbeitsfähigkeit des Lehrstuhles. Der Lehrstuhl arbeitet an einer Vielzahl von Projekten zum Wachstum und zur Funktionalisierung von Nanostrukturen. Dies sind Nanokristalle, Nanodrähte und andere Nanostrukturen, wobei das Gerät die systematische Untersuchung zeitnah zur Herstellung ermöglichte. So wurden in den ersten drei Jahren mit Hilfe des HRSEMs wesentliche Beiträge zu mehreren DFG Projekten und zu Forschungskooperationen mit Israel (DIP Projekt) und Singapur (BMBF Austauschprojekt) geleistet. Im Bereich der Nanodrähte wurden Arbeiten zum tieferen Verständnis des Wachstums von ZnO Nanodrähten realisiert. Durch Verbesserung der Wachstumsanlage und systematische Untersuchungen des Parameterraumes zum ZnO Nanodrahtwachstum konnten Bereiche des VLS und VS Wachstum erstmals klar identifiziert werden. Es wurden Oberflächenmodifikationen in Form von Core-Shell-Strukturen untersucht und Beiträge zum tieferen Verständnis des Nano-Kirkendall-Effektes gebraucht. Die kontrollierte Realisierung von Nanohohlstrukturen rundet diese Arbeiten ab. Im Weiteren wurde mit Hilfe des HRSEM erstmals eine 3D Abbildung der bei metall-assistiertem Ätzen (MACE) entstehenden Poren im Silizium realisiert. Dazu war das HRSEM die maßgebende Voraussetzung. Die bisherige Schnittpräparation der Porenstrukturen kann den Ätzprozess nur unvollständig charakterisieren. Mittels Kombination von Porenätzen, ALD Beschichtung und Substratrückätzung war es erstmalig möglich, ein 3D Abbild der Porenstruktur zu realisieren, die im HRSEM durch systematische Drehung dargestellt werden konnte.
Publications
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