Elektronenstrahl-Nanostrukturierungsapparatur

• Subject Area: Condensed Matter Physics
• Term: from 2008 to 2011
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 65124308

Die Untersuchung der physikalischen Eigenschaften von künstlich hergestellten Nanostrukturen stellt einen wesentlichen Schwerpunkt der Forschung der Arbeitsgruppe dar. Durch die Zusammenarbeit mit den Forschergruppen des Centers for NanoScience (CeNS) und des Exzellenzclusters Nanosystems Initiative Munich (NIM) wird eine Konzentration der unterschiedlichen Expertisen der Partner erreicht, die vor allem der Herstellung nanoskaliger Bauelemente und Systeme und der Erforschung ihrer elektronischen, optischen und mechanischen Eigenschaften neue Impulse verleiht. Unverzichtbare Voraussetzung zur top-down Erzeugung von Nanostrukturen ist die Definition der Strukturen mittels höchstauflösender Elektronenstrahllithographie mit einer routinemäßigen Auflösung unter 10 nm. Das hier beantragte Gerät dient der Ersatzbeschaffung für das in der Forschungsgruppe bereits seit 1990 in Betrieb befindliche System. Die mit diesem Gerät erreichbare Strukturfeinheit im Lithographiemodus liegt im Bereich von etwa 30 nm und entspricht nicht mehr dem Stand der Technik. Das beantragte System bietet aber auch Komponenten an, die den Bereich des NanoEngineering abdecken. So sind damit elektronenstrahlinduzierte Materialabscheidung (EBID) oder lokales Ätzen (EBIE) in geeigneten Gasatmosphären möglich. Des Weiteren erlauben es die Flexibilität und Integrationsfähigkeit des Gesamtsystems ein Nanolaboratorium aufzubauen, das von außen über elektrische und Glasfaser- Durchführungen versorgt werden kann. Wissenschaftliche Experimente wie z. B. das Anregen, Verstimmen, Delektieren und Koppeln von nanoelektromechanischen Resonatorsystemen können somit direkt im Gerät erfolgen.

• DFG Programme: Major Research Instrumentation
• Instrumentation Group: 0910 Geräte für Ionenimplantation und Halbleiterdotierung
• Applicant Institution: Ludwig-Maximilians-Universität München
• Leader: Professor Dr. Jörg Peter Kotthaus