SFB 622:  Nanopositioning- and Nanomeasuring Machines

• Subject Area: Mechanical and Industrial Engineering ; Computer Science, Systems and Electrical Engineering ; Materials Science and Engineering
• Term: from 2002 to 2013
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5485337

• Final Report Year: 2013

Final Report Abstract

Der Sonderforschungsbereich 622 hatte während des gesamten Bearbeitungszeitraumes die Zielstellung, die wissenschaftlich-technischen Grundlagen von 3D-Nanopositionier- und Nanomessmaschinen (NPM-Maschinen) zur Positionierung, Antastung, Messung, Analyse, Modifizierung und Manipulation von dreidimensionalen Objekten mit Nanometerpräzision zu erarbeiten. Die Zielstellung für die letzte Förderperiode bestand darin, in die physikalisch-technischen Grenzbereiche der Nanopositionier- und Nanomesstechnik (NPM-Technik) vorzustoßen. Es sollten die wissenschaftlich-technischen und technologischen Tendenzen und Möglichkeiten der NPM-Technik über das Jahr 2013 hinaus beschrieben werden. Es konnte gezeigt werden, dass das Grundkonzept der in Ilmenau entwickelten Nanopositionier- und Nanomesstechnik nach wie vor höchstes messtechnisches Potential besitzt. Es basiert auf der konsequenten Umsetzung fehlerarmer metrologischer und konstruktiver Grundprinzipien bei gleichzeitiger Messung und aktiver Ausregelung der Führungsrestabweichungen sowie dem Einsatz neuartiger leistungsfähiger Antastsysteme als Nullindikatoren. Man kann einschätzen, dass die Zielstellung des SFB erreicht wurde. Die Nanopositioniermaschine NPMM 25 mit einem Messbereich von 25 mm x 25 mm x 5 mm wurde kontinuierlich weiterentwickelt. Es wurde im Rahmen eines Transferprojektes eine Nanopositioniermaschine NPMM 200 mit einem Messbereich von 200 mm x 200 mm x 25 mm entwickelt und aufgebaut. Die Messauflösung wurde auf 20 pm gesteigert. Neue Interferometer- und Maschinenkonzepte für noch größere Messbereiche und Subnanometerpräzision wurden erarbeitet und verifiziert. Durch Weiterentwicklung der Laserstabilisierung von He-Ne-Lasern konnte eine Laserfrequenzstabilität von 1,5⋅10^-10 erreicht werden. Es wurden verschiedene optische und taktile Antastsensoren und Tools entwickelt bzw. weiter verbessert. Das Konzept für den Multisensorbetrieb mit fünf unterschiedlichen optischen und taktilen Sensoren wurde erfolgreich umgesetzt. Die Aufnahme, Verarbeitung und Visualisierung extrem großer Datenmengen (6 Terrabyte) konnte gezeigt werden. Zu den wichtigsten Ergebnissen zählen dabei: • Sub-nanometergenaues Messen und Positionieren in (extrem) großen Messbereichen • Weiterentwicklung der Hochleistungssignalverarbeitung • Analysieren und Visualisieren riesiger Messdaten • Multifunktionale Nanoanalytik • Hochgeschwindigkeits-AFM-Messung • Nanotools (Optische Pinzette, Mikroplasma) • Grundlagen für die wissensbasierte Prüfplanung mit NPM-Maschinen • Neue Konstruktions-/ Führungs-/ Antriebs-/ Steuer- und Regelungskonzepte Alle die aufgeführten Ergebnisse wurden durch interdisziplinäre, fachgebiets- und teilprojektübergreifende Zusammenarbeit erreicht. Die Forschungsergebnisse des SFB 622 zu Nanopositionier- und Nanomesssystemen wurden national und international publiziert (z.B. in einer kompletten Spezialausgabe des Measurement Science an Technology (Volume 23, Number 7, July 2012) und haben Einfluss auf die weltweiten, intensiven Forschungsarbeiten auf dem Gebiet der 3D Nanopositionier- und Nanomesstechnik. Die Technology Foundation STW der Niederlande bescheinigt dem SFB 622 “…according to Web of Knowledge, TU Ilmenau is worldwide leading in publishing about Nanopositioning (14% of all publications).” Gerade die Einzigartigkeit der Konstellation der in Ilmenau entwickelten NPM-Technik, die in der Verbindung von kleinsten Auflösungen mit enorm großen Mess- und Positionierbereichen liegt, eröffnet völlig neue technische Möglichkeiten. Die internationale Spitzenposition von Ilmenau auf dem Gebiet der Nanopositionierund Nanomesstechnik konnte behauptet werden. Es kann festgestellt werden, dass die technologischen Entwicklungstendenzen in Richtung Präzisionsanforderungen nach wie vor ungebrochen sind, wie die EURAMET Roadmap Präzisionsmesstechnik für Mikround Nanotechnologien konstatiert. Hier finden sich die Forschungsaktivitäten des SFB 622 in den Targets bis 2025 eindrucksvoll bestätigt: • 3D metrology at (few)-nm accuracy over several 100 mm range • 2D metrology at sub-nm accuracy up to 450 mm range • 3D multiparametric metrology of nano-and microstructures at sub-nm accuracy over sub-mm Aus der Roadmap wird ersichtlich, dass auch in den kommenden Jahren weiterer Forschungsbedarf im Bereich der Nanopositionier- und Nanomessmaschinen besteht, um den Anforderungen der technischen Entwicklung insbesondere der Mikro- und Nanotechnologien gerecht zu werden.

Publications

• „Method for determining the measuring uncertainity of coordinates in geometric measurement“; 26.11.2009 (WO 2009/141333 A1)
  K. Weißensee; G. Linß; S. Töpfer; O. Kühn; M. Rosenberger
  
• HREELS Investigation of the Surfaces of Nanocrystalline Diamond Films Oxidized by Different Processes; Langmuir 2010, 26 (24), pp 18798–18805
  S. Ghodbane; T. Haensel; Y. Coffinier; S. Szunerits; D. Steinmüller-Nethl; R. Boukherroub; S. I.-U. Ahmed; J.A. Schaefer
  (See online at https://doi.org/10.1021/la1032652)
• Adaptive Reibkraftkompensation zur modellbasierten Positionsregelung von Nanopositionier- und Nanomessmaschinen; at-Automatisierungstechnik vol. 59, no. 2, pp. 51-59, 2009
  A. Amthor; S. Zschäck; C. Ament
  
• Influence of hydrogen on nanocrystalline diamond surfaces investigated with HREELS and XPS; Phys. Status Solidi A, 206 (2009), 2022
  T. Haensel; J. Uhlig; R. J. Koch; S. I.-U. Ahmed; J.A. Garrido; D. Steinmüller-Nethl; M. Stutzmann, J.A. Schaefer
  
• Model-driven Development and Multi-processor Implementation of a Dynamic Control Algorithm for Nanopositioning and Nanomeasuring Machines; Journal of Systems and Control Engineering, vol. 223, no. 1, 2009
  M. Müller; A. Amthor; W. Fengler; C. Ament
  
• Model-driven development and multiprocessor implementation of a dynamic control algorithm for nanopositioning and nanomeasuring machines; Proceedings of the Institution of Mechanical Engineers, Part I: Journal of Systems and Control Engineering 223 (2009), pp. 417–429
  M. Müller; W. Fengler; A. Amthor; C. Ament
  
• Optical microsystems for micromanipulation and flourescence detection; EOS 3rd Topical Meeting on Optical Microsystems, 27.-30.09.2009, Capri
  A. Oeder; M. Amberg; C. Bauer; S. Stoebenau; S. Sinzinger
  
• Simulation von Antriebsschwingungen als Störgröße bei Präzisionsmaschinen; Schwingungen in Antrieben 2009, VDI-Berichte 2077, ISBN 978-3-18-092077-1
  I. Husung; S. Oberthür; E. Gerlach; K. Zimmermann
  
• Untersuchung der Dynamik von Präzisionsmaschinen mittels Mehrkörpersystem – Simulation; ASIM-Treffen STS/GMMS 2009 DASS 2009, ISBN 978- 3-8167-7981
  E. Gerlach; I. Husung; S. Oberthür; A. Tröbs; K. Zimmermann
  
• "Speeding Up Powerful State-of-the-Art Restoration Methods with Modern Graphics Processors"; International Conference on Computer Vision and Graphics (ICCVG 2010), Warsaw, Poland, 20-22 September 2010, appeared in Proceedings Part II, Springer-Verlag Berlin Heidelberg, ISBN: 978-3-642-15909-1, S. 81-88 September 2010
  T. Kubertschak; R. Nestler; T. Machleidt; K.-H. Franke
  
• An approach to the dynamics and kinematical control of motion systems consisting of a chain of bodies; Proc. of the 18th CISM-IFToMM Symposium (RoManSy 18), Udine 2010, Springer Verlag, Wien, New York, pp. 457-464, ISBN 978-3-7091-0276-3
  K. Zimmermann; I. Zeidis
  
• Asymmetric Motion Profile Planning for Nanopositioning and Nanomeasuring Machines; Journal of Systems and Control Engineering, vol. 224, no. 1, 2010
  A. Amthor; J. Werner; A. Lorenz; S. Zschäck; C. Ament
  
• Combination of high speed surface scanning and tactile 3-D coordinate measurement on the basis of advanced mechatronic and control concepts; Proc. of ASPE 2010 Spring Topical Meeting (Cambridge, Massachusetts), 11.-13. April 2010, S. 40-44
  T. Hausotte; E. Manske; G. Jäger; B. Percle; N. Dorozhovets; T. Machleidt
  
• Combination of multi-sensor technology and multiple measurement strategies in micro- and nanometrology. In: 10th International Symposium on Measurement and Quality Control, Osaka, Japan, 2010 - ISBN 978-4-9905119-0-6, D6-075-1- D6-075-4, 2010
  E. Manske; G. Jäger; T. Hausotte
  
• Design Issues of Planar Active Magnetic Bearing Actuators with Low Power Dissipation, Proc. 12th Int. Conf. on New Actuators, 2010, 677-680
  M. Büchsenschütz; R. Volkert; T. Sattel
  
• Design of a Nanometre-precision Air Gap Control for Planar Magnetic Bearing Actuators, Proc. 10th EUSPEN Int. Conf., 2010, 1, 312-315
  R. Volkert; M. Büchsenschütz; T. Sattel
  
• First results of an interferometric controlled planar positioning system for 100 mm with zerodur slider, Proceedings of the 10th International Conference of the European Society for Precision Engineering & Nanotechnology, Delft, 31. Mai - 04. Juni 2010
  S. Hesse; H.-J. Büchner; G. Jäger; C. Schaeffel; H.-U. Mohr; B. Leistritz
  
• High Precision Position Control using an Adaptive Friction Compensation Approach; IEEE Transactions on Automatic Control, vol. 55, no. 1, pp. 274- 278, 2010
  A. Amthor; S. Zschäck; C. Ament
  
• Integrated system development process for high-precision motion control systems; 2010 IEEE International Conference on Control Applications. Yokohama : IEEE, 2010, pp. 344–350
  S. Zschäck; A. Amthor; M. Müller; J. Klöckner; C. Ament; W. Fengler
  
• Interaction of hydrogen and oxygen with nanocrystalline diamond surfaces; Material Research Society Symposium Proceedings Vol. 1203 (2010), J17-44
  T. Haensel; S.I.-U. Ahmed; J. Uhlig; R.J. Koch; J.A. Garrido; M. Stutzmann; J.A. Schaefer
  
• Investigations of metrological models for the nanomeasuring and nanopositioning machine with respect to the measurement uncertainty by means of a Monte Carlo simulation. - In: Proceedings of: the twenty-fifth annual meeting of the American Society for Precision Engineering / Annual meeting of the American Society for Precision Engineering; 25 (Atlanta, Ga.): 2010.10.31-11.04. (2010), S. 325-328
  P. Kreutzer; R. Füßl; E. Manske; N. Dorozhovets
  
• Kombinierte Fest- und Flüssigschmierung für Nanopositionier- und Nanomessmaschinen; Proceedings of GfT Gesellschaft für Tribologie e.V. Tribologie-Fachtagung 2010, 27. bis 29. September 2010
  T. Haensel; X. Zhang; T. Wüstehoff; X. Zhang; M. Kosinskiy; A. Keppler; S. Krischok; S.I.-U. Ahmed
  
• Lens design for optimized trapping optics; EOS Annual Meeting, 26.-29.10 2010, Paris
  A. Oeder; C. Bauer; S. Stoebenau; S. Sinzinger
  
• Method and Device for Real-Time-Capable Fourth-Order Path Planning for Generating Continuous Target Trajectories Free of Jerk Jumps; The World Intellectual Property Organization (WIPO), Internationale Patentschrift WO 2010/136586 A1, 2010
  A. Amthor; S. Zschäck; C. Ament; J. Werner; A. Lorenz
  
• Metrologie und Messunsicherheit von Nanopositionier- und Nanomessmaschinen. - In: Sensoren und Messsysteme 2010 / ITG/GMA-Fachtagung Sensoren und Messsysteme; 15 (Nürnberg) : 2010.05.18-19. - Berlin [u.a.]: VDE-Verl. (2010), S. 474-477
  R. Füßl; E. Manske
  
• Planar Magnetic Drives and Bearings for Multi-Axis Nanopositioning Machines with Large Travel Ranges, Proc. 12th Int. Conf. on New Actuators, 2010, 1, 276-279
  T. Sattel; R. Volkert; S. Hesse; C. Schäffel
  
• Planar Magnetic Drives and Bearings for Multi-Axis Nanopositioning Machines with Large Travel Ranges; Proceedings of the 12th International Conference on New Actuators, Bremen, 14.-16. Juni 2010
  T. Sattel; R. Volkert; S. Hesse; C. Schäffel
  
• Verfahren zur echtzeitfähigen Bahnplanung kontinuierlicher, rucksprungfreier Sollwerttrajektorien; Deutsches Patent- und Markenamt, Patentschrift DE 10 2009 024 130 A1, 2010
  A. Amthor; S. Zschäck; C. Ament; J. Werner; A. Lorenz
  
• “Knowledge-based uncertainty estimation of dimensional measurements using visual sensors”; 13th IMEKO TC1-TC7 Joint Symposium „Without Measurement No Science, Without Science No Measurement“, 1-3 September 2010, City University London
  K. Weißensee, O. Kühn, G. Linß
  
• „Concept of high precision ball guideway with three DOFs”; Mechanika / International Conference Mechanika; 15 (Kaunas) : 2010.04.08-09. - Kaunas: Technologija (2010), S. 176-181
  M. Heyne; T. Erbe; R. Theska
  
• „Depth From Focus (DFF) Utilizing the Large Measuring Volume of a Nanopositioning and Nanomeasuring Machine”; 15. ITG-/GMA- Fachtagung “Sensoren und Messsysteme 2010” in Nürnberg 18. und 19. Mai 2010
  T. Machleidt; E. Sparrer; D. Kapusi; K.-H. Franke
  
• „Investigation of Opto-Mechanical Scanning Systems with the Use of a Ray-Tracing Tool”; International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology; 10 (Delft): 2010.05.31-06.04. - Bedford: Euspen (2010), S. 148-151
  L. S. Ginani; R. Theska
  
• „Measurement of the percentage contact area of high precision planar ball guideways”; International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology; 10 (Delft): 2010.05.31-06.04. - Bedford: Euspen (2010), S. 445-448
  M. Heyne; T. Kowallik; T. Erbe; R. Theska
  
• Active Probe Control of a Metrological Atomic Force Microscopy. In: Proceedings of the 18th IFAC World Congress, 2011, S. 3533-3538
  J. C. Shen; N. Dorozhovets; T. Hausotte; E. Manske; W. Y. Jywe; C. H. Liu
  
• Airborne particle generation for optical tweezers by thermo-mechanical membrane actuators; Proc. SPIE 8066, 80661F (2011)
  T. Polster; S. Leopold; M. Hoffmann
  (See online at https://doi.org/10.1117/12.886727)
• Analysis of the cosine error in measurements using the nanopositioning and nanomeasuring machine. - In: Proceedings of the twenty-sixth annual meeting of the American Society for Precision Engineering / Annual meeting of the American Society for Precision Engineering; 26 (Denver, Colo.): 2011.11.12-18. (2011), S. 286-289
  P. Kreutzer; R. Füßl; E. Manske
  
• Design of a Triaxial Resonant Nanoprobe Fully Integrated in a Silicon Substrate; Proceedings of the 22nd Micromechanics Europe Workshop, Tönsberg, Norway (2011) ISBN: 978-82-7860-224-9
  B. Goj; M. Hoffmann
  
• Dynamical Friction Modelling and Adaptive Compensation on the Nanometer Scale; 37th Annual Conference of the IEEE Industrial Electronics Society, Proceedings, Melbourne, 2011
  A. Amthor; S. Zschäck; C. Ament
  
• GPU vs FPGA: Example Application on White Light Interferometry; 2011 International Conference on Reconfigurable Computing and FPGAs (ReConFig ’11). Cancun, Mexico : IEEE Computer Society CPS, 2011, pp. 481–486
  A. Pacholik; M. Müller; W. Fengler; T. Machleidt; K.-H. Franke
  
• Hybride Mehrkörpersysteme als Modellierungsansatz für Präzisionsmaschinen. 5. Asim Workshop, Wismar, Mai 2011
  E. Gerlach; B. Fiedler
  
• Interferometric controlled planar nanopositioning system with 100 mm circular travel range, Proceedings of the 26th Annual Meeting of The American Society for Precision Engineering; Denver USA, 13.-18. November 2011
  S. Hesse; C. Schäffel; M. Katzschmann; H.-J. Büchner
  
• Interferometric controlled planar positioning system with zerodur slider, 56th International Scientific Colloquium; Ilmenau University of Technology, 12.-16. September 2011
  S. Hesse; C. Schäffel; H.-U. Mohr; H.-J. Büchner
  
• LiSARD: LabVIEW Integrated Softcore Architecture for Reconfigurable Devices; 2011 International Conference on Reconfigurable Computing and FPGAs (ReConFig ’11). Cancun, Mexico : IEEE Computer Society CPS, 2011, pp. 442–447
  A. Pacholik; J. Klöckner; M. Müller; I. Gushchina; W. Fengler
  
• Measuring value correction and uncertainty analysis for homodyne interferometers. - In: Measurement science and technology. ISSN 13616501, Bd. 22 (2011), 9, S. 094028, insges. 6 S.
  T. Hausotte; B. Percle; E. Manske; R. Füßl; G. Jäger
  
• Measuring value correction and uncertainty analysis for homodyne interferometers. In: Measurement Science and Technology, Bristol: IOP Publ., ISSN 13616501, Vol. 22 (9), 2011, S. 094028 (6pp)
  T. Hausotte; B. Percle; E. Manske; R. Füßl; G. Jäger
  
• Modeling of 3D-measurement chains in nanopositioning and nanomeasuring machines. - In: Proceedings of the 14th Joint International IMEKO TC1 + TC7 + TC 13 Symposium / Joint International IMEKO TC1 + TC7 + TC 13 Symposium; 14 (Jena): 2011.08.31-09.02. (2011), insges. 3 S.
  R. Füßl; E. Manske; P. Kreutzer
  
• Motion of two interconnected mass points in a resistive medium. In: J. Awrejcewicz, M. Kazimierczak, P. Olejnik, J. Mrozowski (Eds.) Dynamical Systems - Analytical/Numerical Methods, Stability, Bifurcation and Chaos, ISBN 978-83-7283-447-8, Proc. of the 11 th International Conference “Dynamical Systems. Theory and Applications”, Łódź, Poland, 2011, pp. 109-114
  K. Zimmermann; I. Zeidis
  
• Multisensor technology based on a laser focus probe for nanomeasuring applications over large areas. In: SPIE Conference: Optical Measurement Systems for Industrial Inspection VII Munich, Proceedings of the SPIE - The International Society for Optical Engineering, Vol. 8082, 2011, S. 808203 (9pp)
  E. Manske; G. Jäger; T. Hausotte; T. Machleidt
  (See online at https://doi.org/10.1117/12.888445)
• Nanopositionier- und Nanomessmaschinen, 5. Tagung Feinwerktechnische Konstruktion, Dresden, November 2011
  C. Schäffel.; S. Hesse; H.-U. Mohr
  
• Novel control scheme for a high-speed metrological scanning probe microscope. In: Measurement Science and Technology, Bristol: IOP Publ., ISSN 13616501, Vol. 22 (9), 2011, S. 094012 (7pp)
  N. Vorbringer-Dorozhovets; T. Hausotte; E. Manske; J.C. Shen; G. Jäger
  
• Optisch gepulste Mikroplasmaquelle für die Integration von Nanotomographie in einer Nanomessmaschine; Konferenzbeitrag MST-Kongress 2011, Darmstadt, VDE Verlag (Hrsg.), CD-ROM ISBN 978-3-8007-3367-5
  T. Polster; H. Mehner; A. Oeder; M. Hoffmann; S. Sinzinger
  
• Rollreibungsmessung an einzelnen Kugeln im Ebene-Kugel-Ebene-Kontakt; GfT-Fachtagung 26. bis 28. September 2011
  B. Guddei; S.I.-U. Ahmed
  
• Shared-memory communication in distributed SoCs on multi-FPGA systems; EDACENTRUM (ed.): edaWorkshop 11 Proceedings, Dresden, May 10-12, 2011. Berlin : VDE Verlag GmbH, 2011, pp. 57–62
  M. Müller; O. Brandel; A. Krahn; W. Fengler
  
• Tactile 3D microprobe system with exchangeable styli. In: Measurement Science and Technology, Bristol: IOP Publ., ISSN 13616501, Vol. 22 (9), 2011, S. 094018 (7pp)
  F. G. Balzer; T. Hausotte; N. Dorozhovets; E. Manske; G. Jäger
  
• Untersuchungen zum Messunsicherheitsbudget nichtlinearer Teilmodelle in der Präzisionslängenmesstechnik. - In: Messunsicherheit praxisgerecht bestimmen / Fachtagung Messunsicherheit Praxisgerecht Bestimmen; 5 (Erfurt): 2011.11.08-09. - Düsseldorf: VDI-Verl. (2011), S. 209-219
  E. Manske; R. Füßl
  
• “GPU vs FPGA: Example Application on White Light Interferometry”; 2011 International Conference on Reconfigurable Computing and FPGAs (ReConFig ’11). Nov. 30 - Dec. 2, 2011, Cancun, Mexico: IEEE Computer Society CPS, pp. 481-486
  A. Pacholik; M. Müller; W. Fengler; T. Machleidt; K.-H. Franke
  
• “Knowledge-Based Inspection Planning for Multi-Scaled Quality Testing”; Proceedings of the 13th Joint International IMEKO TC1-TC7-TC13 Symposium, Jena/ Germany, August 31st – September 2nd, 2011
  K. Weißensee
  
• “New Approaches to the Improvement in Efficiency of Dimensional Measurements on Multi-Sensor Coordinate Measuring Machines”; Measurement 2011, April 2011, Smolenice Castle, Slovakia
  M. Vogel, K. Weißensee; G. Linß
  
• “The use of deflecting elements in interferometric applications – advantages and challenges”; 56th International Scientific Colloquium, Ilmenau 2011
  K. John; R. Theska; T. Erbe
  
• „A Novel Approach to the Correction of Optical Aberrations in Laser Scanning Microscopy for Surface Metrology“; Meas. Sci. Technol. Vol. 23, No. 7, 2011, S. 1-8
  L. S. Ginani; R. Theska
  
• „Actuation Principle Selection – An Example for Trade-Off Assessment by CPM-Approach”; Bd. 4, 18th International Conference on Engineering Design (ICED 11). Impacting society through engineering design, Design Society, 2011 (68), S. 222–229
  T. Erbe; C. Weber; K. Paetzold
  
• „Beitrag zur automatisierbaren Messunsicherheitsermittlung in der Präzisionskoordinatenmesstechnik mit Bildsensoren“; Dissertation an der Technischen Universität Ilmenau 2011, ISBN 978-3-8442-0177-2
  K. Weißensee; G. Linß
  
• „Design and Construction of a Laser Scanning Microscope for Surface Metrology“; International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology; 11 (Como): 2011.05.23-26. - Bedford: Euspen (2011), S. 121-124
  L. S. Ginani; R. Theska
  
• „Design Theory and Methodology – Contributions to the Computer Support of Product Development/Design Processes”; The future of design methodology. London: Springer, 2011, S. 91–104
  C. Weber:
  
• „Virtualisation of product development/design - seen from Design Theory and Methodology“; Bd. 2, 18th International Conference on Engineering Design (ICED 11). Impacting society through engineering design, Design Society, 2011 (68), S. 226–235
  C. Weber; S. Husung
  
• A compact reciprocating vacuum microtribometer; Tribology International
  M. Kosinskiy; S. I.-U. Ahmed; Y. Liu; J. A. Schaefer
  (See online at https://doi.org/10.1016/j.triboint.2012.06.019)
• A Hybrid Active Magnetic Guidance Concept with Low Heat Production for High Precision Machines, Proc. 13th Int. Conf. on New Actuators, 2012, 221-224
  M. Büchsenschütz; C. Bettin; T. Sattel
  
• A multi-sensor approach for complex and large-area applications in micro and nanometrology. - In: Measure. ISSN 19315775, Bd. 7 (2012), 2, S. 44-50
  E. Manske; G. Jäger; T. Hausotte
  
• Adaptive Control of High Precision Positioning Stages with Friction; International Conference on Control, Automation and Information Science (ICCAIS), Proceedings, Ho Chi Minh City, Vietnam, 2012
  S. Zschäck; S. Büchner, T.T. Nguyen, A. Amthor; C. Ament
  
• Approaching nanometre accuracy in measurement of the profile deviation of a large plane mirror. - In: Measurement science and technology. ISSN 13616501 (2012), 7, S. 074014, insges. 6 S.
  A. Müller; N. Hofmann; E. Manske
  
• Area-based optical 2.5D sensors of a nanopositioning and nanomeasuring machine. In: Measurement Science and Technology, Vol. 23, 2012, S. 074010 (6pp)
  T. Machleidt; E. Sparrer; E. Manske; D. Kapusi; K.-H.Franke
  (See online at https://doi.org/10.1088/0957-0233/23/7/074010)
• Compact optical systems for micromanipulation: bringing optical tweezers into industrial applications; Laser-Technik-Journal. - Berlin: Wiley-VCH, ISSN 18639119, Bd. 9 (2012), 4, S. 20-23
  S. Sinzinger; S. Stoebenau; A. Oeder; R. Kampmann
  
• Controller Design for a High Precision Elastically Supported Hybrid Active Magnetic Guidance, Proc. 13th Int. Symposium On Magnetic Bearings, 2012
  M. Büchsenschütz; T. Sattel
  
• Design and performance evaluation of an interferometric controlled planar nanopositioning system, Meas. Sci. Technol., 23 074011, 2012
  S. Hesse et al.
  (See online at https://doi.org/10.1088/0957-0233/23/7/074011)
• Design of a biaxial nanoprobe utilizing Matlab Simulink; Proceedings of the 23rd Micromechanics Europe Workshop, Ilmenau, Germany (2012) ISBN: 978-3-938843-71-0
  B. Goj; M. Hoffmann
  
• Electromagnetic changer for AFM-tips; Proceedings of the 23rd Micromechanics Europe Workshop, Ilmenau, Germany (2012) ISBN: 978-3-938843-71-0
  B. Goj; N. Vorbringer-Dorozhovets; C. Wystup; E. Manske; M. Hoffmann
  
• Fibre-coupled monochromatic zero-point sensor for precision positioning systems using laser interferometers. In: Measurement Science and Technology, Vol. 23, 2012, S. 074008 (8pp)
  F. Balzer; U. Gerhardt; T. Hausotte; E. Manske; G. Jäger
  (See online at https://doi.org/10.1088/0957-0233/23/7/074008)
• From Control Design to FPGA Implementation; Prof. Subhas Chakravarty (ed.): Technology and Engineering Applications of Simulink : inTech, 2012, pp. 129–148
  M. Müller; H.-C. Schwannecke; W. Fengler
  
• Heterodyne interferometer laser source with a pair of two phase locked loop coupled He-Ne lasers by 632.8 nm. In: Measurement Science and Technology, Vol. 23, 2012, S. 074006 (6pp)
  C. Sternkopf; C. Diethold; U. Gerhardt; J. Wurmus; E. Manske
  (See online at https://doi.org/10.1088/0957-0233/23/7/074006)
• High speed quasimonolithic silicon/piezostack SPM scanning stage; Microelectronic Engineering Volume 98 (2012) Pages 520 – 523
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• „Measurement, visualization and analysis of extremely large data sets with a nanopositioning and nanomeasuring machine”; SPIE Optical Metrology 2013, ICM Munich, Munich, Germany
  O. Birli; K.-H. Franke; G. Linß; T. Machleidt; E. Manske; F. Schale; H.-C. Schwannecke; E. Sparrer; M. Weiß
  
• „Measurement, visualization and analysis of extremely large data sets with a nanopositioning and nanomeasuring machine”; SPIE Optical Metrology 2013, ICM Munich, Munich, Germany
  O. Birli; K.-H. Franke; G. Linß; T. Machleidt; E. Manske; F. Schale; H.-C. Schwannecke; E. Sparrer; M. Weiß: