Synthese von nichtoxidkeramischen Schichten aus kondensierten Precursoren mittels DC- und HF-Plasma

• Applicant: Professor Dr.-Ing. Johannes Wilden
• Subject Area: Materials Engineering
• Term: from 1997 to 2001
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5390893

No abstract available

• DFG Programme: Priority Programmes
• Subproject of: SPP 1037: Neue Precursorkeramik aus kondensierten molekularen Vorstufen
• Participating Persons: Dr.-Ing. Rudolf Henne; Professor Dr. Eberhard Müller; Professor Dr. Gerhard Roewer (†); Dr. Günter Schiller, Ph.D.