Glasbauteile für NPM-Maschinen (B04)

• Fachliche Zuordnung: Mikrosysteme
• Förderung: Förderung von 2002 bis 2005
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5485337

Keine Zusammenfassung vorhanden

• DFG-Verfahren: Sonderforschungsbereiche
• Teilprojekt zu: SFB 622: Nanopositionier- und Nanomessmaschinen
• Antragstellende Institution: Technische Universität Ilmenau
• Teilprojektleiterinnen / Teilprojektleiter: Dr.-Ing. Alf Harnisch; Professorin Dr.-Ing. Dagmar Hülsenberg