metrology of NPM-machines (A01)

• Subject Area: Measurement Systems
• Term: from 2002 to 2013
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5485337

Im Teilprojekt A1 werden die wissenschaftlichen Grundlagen zum metrologischen Entwurf und zur Analyse von Teilsystemen bis hin zum Gesamtsystem von NPM-Maschinen sowie deren Einbettung in das metrologische Umfeld weiterentwickelt. Gegenstand der Arbeiten im neuen Antragszeitraum soll die Erarbeitung und Systematisierung von Einsatzszenarien für NPM-Maschinen unter dem Gesichtspunkten Messbereiche, Messunsicherheiten, Messdynamik und Rückführstrategien/ Kalibrierung sein. Dabei sind die Grenzen metrologischer Konzepte für NPM-Maschinen mit Messvolumina bis 450 x 450 x 80 mm3, Messauflösungen bis 0,01 nm und Reproduzierbarkeiten bis 0,3 nm auszuloten. Die Beschreibung und Analyse von Teilsystemen und deren Schnittstellen anhand komplexer metrologischer Modelle, abgestimmt auf die jeweiligen Tast- und Sensorsysteme bilden weitere Arbeitsschwerpunkte.

• DFG Programme: Collaborative Research Centres
• Subproject of: SFB 622: Nanopositioning- and Nanomeasuring Machines
• Applicant Institution: Technische Universität Ilmenau
• Project Heads: Professor Dr.-Ing. Roland Füßl; Professor Dr.-Ing. Eberhard Manske