Prozeßführung und Handhabung im Großkammer-REM (A 2)

• Subject Area: Microsystems
• Term: from 1997 to 2000
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5481537

No abstract available

• DFG Programme: Collaborative Research Centres
• Subproject of: SFB 440: Assembly of hybrid Microsystems
• Applicant Institution: Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen
• Co-Applicant Institution: Fraunhofer-Institut für Produktionstechnologie (IPT)
• Project Head: Professor Dr.-Ing. Manfred Weck