Prozeßführung und Handhabung im Großkammer-REM (A 2)

• Fachliche Zuordnung: Mikrosysteme
• Förderung: Förderung von 1997 bis 2000
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5481537

Keine Zusammenfassung vorhanden

• DFG-Verfahren: Sonderforschungsbereiche
• Teilprojekt zu: SFB 440: Montage hybrider Mikrosysteme
• Antragstellende Institution: Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen
• Mitantragstellende Institution: Fraunhofer-Institut für Produktionstechnologie (IPT)
• Teilprojektleiter: Professor Dr.-Ing. Manfred Weck