MOVPE von Gruppe-III-Nitriden mit intramolekular koordinierten Prekursoren. Mechanistische Studien und Modellierung der Prozesse.

• Applicant: Professor Dr. Roland A. Fischer
• Subject Area: Solid State and Surface Chemistry, Material Synthesis
• Term: from 2001 to 2007
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5313670

Das gemeinsame Projektziel der Antragsteller ist es ein tiefgreifendes Verständnis der Chemischen Dampfphasenabscheidung von Gruppe-III-Nitriden zu erarbeiten. Dies soll durch interdisziplinäre Zusammenarbeit von Partnern aus den Bereichen Materialwissenschaft, Metallorganische Synthesechemie, Gasphasenanalytik, Strömungsmechanik und Theoretische Chemie erreicht werden. Dabei wird der Gesamtprozess sowohl von theoretischer als auch experimenteller Seite aus mikroskopischer und makrokopischer Sicht durchleuchtet. Das Gesamtprojekt zerfällt in die zwei Teilbereiche MOVPE von Gruppe-III-Nitridschichten und CVD von Gruppe-III-Nanostrukturen. Im ersten Teilbereich wird der grundsätzlichen Fragen nach der Rolle der Adduktbildung nachgegangen, im zweiten Teilbereich wird eine Prozessoptimierung angestrebt.

• DFG Programme: Priority Programmes
• Subproject of: SPP 1119: Inorganic Materials through Vapor-Phase Synthesis: Interdisciplinary Concepts for Development, Understanding and Controlling of CVD Processes