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Nachweis durch hochauflösende Spektroskopie reaktiver, kurzlebiger, siliciumhaltiger Zwischenstufen in der Gasphase mit Relevanz für Abscheidungsprozesse fester Materialien

Antragsteller Professor Dr. Peter Jutzi (†)
Fachliche Zuordnung Molekülchemie
Förderung Förderung von 1995 bis 2002
Projektkennung Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5234932
 
Kurzlebige Zwischenstufen mit Silicium-Chalkogen-Mehrfachbindungen sind wichtig für anwendungsorientierte Technologien, z. B. die Herstellung von SiO-Filmen durch CVD oder das Ätzen von SiO2-Schichten, sowie für die Grundlagenforschung. Im Vorhaben sollen kurzlebige Moleküle mit Si=O- und Si=S-Doppelbindungen erzeugt werden, nachdem nachgewiesen wurde, daß sich H2SiO und F2SiS durch Pyrolyse der Disilyl-Derivate (H3Si)2O bzw. (F3Si)2S erzeugen lassen. Die in freier Form bisher unbekannten Moleküle F2SiS, F2SiO und H2SiS sollen in der Gasphase mit Hilfe der MMW- und IR-Spektroskopie untersucht werden. Diese kurzlebigen Spezies sollen zum Aufbau höhermolekularer Systeme mit SiOSi- und SiSSi-Bindungen genutzt werden, wobei die Gasphasen-Co-Thermolyse der Disilylchalkogenide mit geeigneten Abfangreagentien sowie in kondensierter Phase mit Donoren durchgeführt werden soll.
DFG-Verfahren Schwerpunktprogramme
Beteiligte Person Professor Dr. Hans Bürger
 
 

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