Neuartige Methoden zur röntgenographischen Spannungsermittlung an Mikrosystemen unter Einsatz von Parallelstrahldiffraktometrie und Flächendetektoren

• Applicant: Professor Dr.-Ing. Detlef Löhe
• Subject Area: Metallurgical, Thermal and Thermomechanical Treatment of Materials
• Term: from 1995 to 2002
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5226954

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• DFG Programme: Research Grants