Inspektionssystem zur Defektanalyse und -topometrie mittels diffraktiver konfokaler Mikroskopie

• Antragsteller: Professor Dr.-Ing. Hans J. Tiziani
• Fachliche Zuordnung: Messsysteme
• Förderung: Förderung von 1995 bis 1999
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5222788

Keine Zusammenfassung vorhanden

• DFG-Verfahren: Schwerpunktprogramme
• Teilprojekt zu: SPP 735: Automatische Sichtprüfung technischer Objekte