Project Details
Projekt Print View

Untersuchungen zur Anwendung von c-BN-Filmen in der Rastersondenmikroskopie - Charakterisierung der mechanischen und elektrischen Eigenschaften von c-BN-Schichten

Subject Area Condensed Matter Physics
Term from 1999 to 2003
Project identifier Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5214380
 
Ziel dieses Vorhabens ist die Anwendung von c-BN-Schichten in der Mikrosystemtechnologie, insbesondere für Sonden für die Rastersondenmikroskopien. Um dieses Ziel zu erreichen, soll im Bereich der Technologie vor allem die Abscheidung von c-BN auf nicht-planaren Substraten (insbesondere Spitzen) sowie die Strukturierung von c-BN-Schichten untersucht werden. Diese Arbeiten werden von einer umfassenden Charakterisierung von c-BNFilmen bezüglich ihrer mechanischen und elektrischen Eigenschaften begleitet, die letztlich zu einer Schichtoptimierung im Hinblick auf die geplanten Anwendungen führen soll.
DFG Programme Research Grants
Participating Person Professor Dr. Rainer Kassing (†)
 
 

Additional Information

Textvergrößerung und Kontrastanpassung