Project Details
Projekt
Anwendungsspezifischer Einsatz von 3D-Replikationstechniken
Subject Area
Measurement Systems
Term
from 1999 to 2006
Project identifier
Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5466172
Die Verringerung lateraler Strukturabmessungen und die damit verbundene Erhöhung der Packungsdichte von Funktionselementen sowie steigende Anforderungen an die Formgenauigkeit bei 3DElementen lassen speziell auf den Gebieten Mikroelektronik, Optoelektronik und Mikrooptik den technischen und finanziellen Aufwand für Primär-Strukturierungsprozesse enorm ansteigen. Die umfassende technische Nutzung setzt deshalb i.a. entweder einen hohen Grad an Parallelbearbeitung bei der Strukturgenerierung oder die reproduzierbare, hochgenaue Replizierbarkeit komplexer Primärstrukturen Bei kleinsten Strukturbreiten unter 100 nm und geforderten Tiefengenauigkeiten (im homogenen Material) besser als 10 nm werden sowohl an den Ausgangszustand des "Masters" (Formgenauigkeit und -beständigkeit, Glattheit und Homogenität oberflächennaher Bereiche) als auch an das Abformmaterial und den Replikationsprozeß selbst extreme Ziel dieses Teilprojektes ist es, unter Verwendung speziell präparierter Master (Teilprojekte Service, TP2) Grundprobleme der Replikation im oben definierten Größen- bzw. Genauigkeitsbereich unter Verwendung strahlenhärtbarer Polymerer auf Acrylat-/Epoxid-Basis zu untersuchen, die Ergebnisse mit denen der Heißprägung beim Kooperationspartner BUGH zu vergleichen und daraus Mindestforderungen (Master-Oberflächeneigenschaften, Material- und Prozeßparameter, Anforderungen an Replikationsvorrichtungen) für technische Replikationsprozesse (z.B. die Nachbildung der bekannten Haifischhaut- bzw. Lotosblüten-Strukturen) abzuleiten.
DFG Programme
Research Units
Participating Person
Professor Dr. Reiner Mehnert
