Focused Ion Beam Gerät (FIB)

• Subject Area: Materials Science
• Term: Funded in 2007
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 51770276

"Unsere Forschungsthemen sind in den Bereichen elektrochemischer Energiewandler und -speicher(Brennstoffzellen, Supercaps) sowie Abgassensorik (resistive Sauerstoffsensoren) angesiedelt. Nebenionisch- und mischleitenden Materialien werden neuartige nanoskalige Schichten entwickelt undanalysiert. Dabei hat sich die Rastelektronenmikroskopie (REM) mit ortsaufgelöster energiedispersiverRöntgenanalyse (EDS) zur Analyse von mikrostrukturellen und chemischen Veränderungen, die alsFolge von Interdiffusions- und Elektromigrationsprozessen auftreten, als wichtiges Werkzeugerwiesen. Die Kombination von REM und EDS mit Focused-Ion-Beam (FIB) wird eine ortsaufgelösteAnalyse ermöglichen. Mit dem lonenstrahl lassen sich die Bereiche herausarbeiten und dünnen, sodass diese mittels EDS mit hoher Auflösung zu analysieren sind. Des Weiteren eröffnet FIB einealternative Präparationsmethode für dünne Lamellen, die im Transmissionselektronenmikroskop(TEM) durchstrahlt werden können. Zusätzlich ermöglicht die Analyse aufeinander folgender FIBSchnitteeine Rekonstruktion der räumlichen Anordnung von Strukturen. Eine dreidimensionaleVisualisierung ist insbesondere bei der modeHgestützten Optimierung von Elektrodenstrukturennotwendig. Weiterhin ist die FIB ein Werkzeug zur Nano- und Mikrobearbeitung. In einem neuen DFGProjektist geplant, Modellelektroden mit definierter Geometrie durch Freischneiden entsprechenderStrukturen aus einer durchgängigen Schicht herzustellen. Die elektrische Charakterisierung vonModellelektroden verschiedener Größe ermöglicht die Identifikation der elektrochemischenElementarprozesse, welche die Verluste in Brennstoffzellen verursachen."

• DFG Programme: Major Research Instrumentation
• Instrumentation Group: 5130 Sonstige spezielle Elektronenmikroskope
• Applicant Institution: Karlsruher Institut für Technologie (KIT) ; Campus Süd (aufgelöst)
• Leader: Professorin Dr.-Ing. Ellen Ivers-Tiffée