Entwicklung eines Meßsystems für dreidimensional ortsaufgelöste, kohärente Spektroskopie und Zeitbereichsanalysen im Terahertz-Frequenzbereich zur bildgebenden Durchleuchtung und Tomographie

• Antragsteller: Professor Dr. Heinrich Kurz (†)
• Fachliche Zuordnung: Elektronische Halbleiter, Bauelemente und Schaltungen, Integrierte Systeme, Sensorik, Theoretische Elektrotechnik
• Förderung: Förderung von 1998 bis 2003
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5132512

Gegenstand dieses Fortsetzungsantrages ist die Entwicklung eines zeit- und ortsaufgelösten Analysesystems im TerahertzFrequenzbereich, welches mittels kohärenter Messtechnik die breitbandigen Transmissions- (THz-Durchleuchtung) und Reflexionseigenschaften (THzTomographie) einer Probe erfasst. Neben der Weiterentwicklung des Systems, ist ein essentieller Schwerpunkt des Projektes die breitere Erschließung von Anwendungsgebieten die das Potential der Messtechnik demonstrieren: Im Bereich der Halbleitertechnik sollen statische und dynamische Ladungsträgerdichten und -beweglichkeiten ortsaufgelöst detektiert werden (Wafermapping). Damit soll die Möglichkeit zur in situ Charakterisierung von Herstellungsprozessen für Halbleiter- und Supraleiterbauelemente demonstriert werden. Zusätzliche Einsatzmöglichkeiten in der Medizin (dermatologische Diagnostik) und Qualitätskontrolle (Beschichtungsanalysen), sowie zur Charakterisierung neuartiger Halbleiter Quantenpunkte (Nanodots) sollen weiter ausgearbeitet und evaluiert werden. Für das gesamte Messsystem müssen Algorithmen der digitalen Bildverarbeitung zur Datenanalyse, Rauschfilterung und Visualisierung weiterentwickelt und optimiert werden.

• DFG-Verfahren: Sachbeihilfen