Strukturierungsverfahren für mikro- und nanooptische Elemente in Lithiumniobat.

• Antragsteller: Dr. Ernst-Bernhard Kley
• Fachliche Zuordnung: Mikrosysteme
• Förderung: Förderung von 2007 bis 2014
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 41652290

Lithiumniobat ist ein Material das außerordentlich interessante Eigenschaften besitzt und deshalb u.a. für die integrierte und nichtlineare Optik eine große Bedeutung hat. Mikro- und Nanostrukturen konnten in diesem Material mangels geeigneter Strukturierungsverfahren bislang nur ungenügend oder gar nicht realisiert werden. Innerhalb der zurückliegenden Förderperiode 2007-2009 ist es uns gelungen, eine Technologie grundlegend zu entwickeln, welche mittels maskierter Ionenbestrahlung und nachfolgendem nasschemischem Ätzen die Herstellung von dreidimensionalen, qualitativ hochwertigen Mikro- und Nanostrukturen in Lithiumniobat gestattet. An realen Strukturen, wie z.B. Rippenwellenleitern und photonischen Kristallen in freitragenden Membranen, wurden die großen Potentiale des Verfahrens gezeigt.Die Zielstellung des Fortsetzungsprojektes ist die methodische Klärung wichtiger offener Fragestellungen, die die Universalität, Reproduzierbarkeit sowie die Praktikabilität der Methode einschränken. Insbesondere ist die Erweiterung der erreichbaren Tiefen geplant. Die Leistungsfähigkeit der Methode soll am Beispiel der nichtlinearen Interaktion lokalisierter Felder in photonischen Kristallen mit Punkdefekten sowie Defektwellenleitern demonstriert werden.

• DFG-Verfahren: Sachbeihilfen
• Beteiligte Personen: Dr. Frank Schrempel; Professor Dr. Werner Wesch