Project Details
Projekt
30 cm Waferprober
Subject Area
Particles, Nuclei and Fields
Term
Funded in 2019
Project identifier
Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 414204470
Das beantragte Gerät soll zur Verbesserung der Infrastruktur des ASIC Labors der Universität Heidelberg beitragen. Das ASIC Labor wird gemeinschaftlich von den Instituten der Physik genutzt. Somit steht die neue Infrastruktur einer Vielzahl von Projekten zur Verfügung. Folgende Projekte werden von der Neuanschaffung profitieren oder durch diese erst ermöglicht: Der Bau von Hybridsystemen bestehend aus Silizium-Photomultipliern (SiPMs) mit der dazugehörigen Ausleseelektronik erfordert eine Reihe von Einzelschritten, die jeweils detailliert auf die Qualität der Ausführung getestet werden müssen; nur so kann eine optimale Herstellungsprozedur entwickelt bzw. gewährleistet werden; ein Rapid-Prototyping kann effizient nur durchgeführt werden, wenn die Infrastruktur vor Ort vorhanden Ist. Für die Forschung im Bereich neuromorpher Hardware werden komplette Siliziumwafer mit einem Durchmesser von 30 cm benötigt. Diese müssen mehrfach In unterschiedlichen Bearbeitungsschritten zusammen mit maßgeschneiderter Testelektronik auf einem Teststand vermessen werden. Dazu ist ein passender 30 cm Waferprober die notwendige Basis. Auch Im Bereich der Entwicklung von HVMAPS Pixeldetektoren, sowie Im Bereich der Entwicklung von Auslesechips von Spurdetektoren sind detaillierte Testprozeduren notwendig für die der Waferprober eingesetzt werden wird.
DFG Programme
Major Research Instrumentation
Major Instrumentation
30 cm Waferprober
Instrumentation Group
2780 Spezielle Meß- und Prüfgeräte für Halbleiter und Röhren (außer 620-659)
Applicant Institution
Ruprecht-Karls-Universität Heidelberg
