PVD-Sputteranlage

• Subject Area: Electrical Engineering and Information Technology
• Term: Funded in 2017
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 389141297

Das Institut für Mikrosensoren, -aktoren und -systeme (IMSAS) forscht auf dem Gebiet der Mikro- und Nanotechnologie, mit einem Fokus der Arbeitsgruppe Vellekoop auf mikrofluidische Systeme und Sensoren für biochemische und medizinische Untersuchungen und einem Fokus der Arbeitsgruppe Lang auf integrierte und flexible Sensoren. Für die Herstellung dieser Mikrosysteme verwenden wir die Prozesse der planaren Mikrofabrikation. Dazu gehören verschiedene Beschichtungsverfahren, bei der die Sputterbeschichtung eine wesentliche Rolle spielt. Zum Erhalt unserer Sputtertechnologie für wissenschaftliche Zwecke ist es notwendig in eine neue Anlage zu investieren, da die derzeit genutzten Geräte in die Jahre gekommen sind und Ersatzteile schwer und teilweise nur noch gebraucht erhältlich sind. Neue technologische Entwicklungen wie z. B. spezielle Pulsverfahren erweitern außerdem unsere Möglichkeiten temperaturempfindliche Substratmaterialien zu verwenden, wie Polyimidfolien und 3D gedruckte Kunststoffmaterialien, und liefern gleichzeitig qualitativ stabilere und dichtere Schichten.

• DFG Programme: Major Research Instrumentation
• Major Instrumentation: PVD-Sputteranlage
• Instrumentation Group: 8330 Vakuumbedampfungsanlagen und -präparieranlagen für Elektronenmikroskopie
• Applicant Institution: Universität Bremen
• Leader: Professor Dr.-Ing. Michael Vellekoop