Laserablationssystem

• Subject Area: Systems Engineering
• Term: Funded in 2017
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 388062203

Die Professur "Polymere Mikrosysteme" beschäftigt sich schwerpunktmäßig mit neuen, grundlegenden Konzepten von Bauelementen, Schaltungen und großintegrierten Schaltkreisen der Polymerelektronik in den Beyond-CMOS- und More-than-Moore-Bereichen unter Nutzung bisher nicht adressierter aktiver Polymere. Die gegenwärtig etablierten Technologien der UV-basierten Fotolithografie sowie replikativer lithografischer Techniken waren für die Arbeiten auf Bauelemente- und Schaltungsniveau geeignet. Nun, beim Übergang zu einer Technologie für Integrierte Schaltkreise, besteht ein dringender Bedarf an einer Fertigungslinie, welche (a) die Substratstrukturierung und (b) Bauelementeintegration umfasst, mit der man Schaltungen einer bedeutend höheren Komplexität auf großflächigen Substraten (200 x 200 mm2 ) mit minimalen Strukturen von ca. 10 μm und einer adäquaten Bauelemente-Integrationstechnologie in effizienter Weise realisieren kann. Eine (a) Großflächensubstratstrukturierung mit der geforderten Präzision in effizientem Labor-Rapid Prototyping ist praktisch nur mit einem Laserablationssystem realisierbar. Das für die Integration von Bauelementen notwendige moderne Mehrkanal-Lösungs-Druck-System wird als separates Großgerät beantragt. Gemeinsam stellen die beiden Geräte eine Fertigungslinie dar, die gleichzeitig den entsprechenden Bedarf des Exzellenzclusters CfAED (u.a. Technologien der organischen Elektronik, chemischen Informationsverarbeitung, DNA-Assembly) sowie der Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik über das Technologiezentrum „Werner Hartmann" abdeckt.

• DFG Programme: Major Research Instrumentation
• Major Instrumentation: Laserablationssystem
• Instrumentation Group: 5740 Laser in der Fertigung
• Applicant Institution: Technische Universität Dresden
• Leader: Professor Dr.-Ing. Andreas Richter