Multifunktionale PVD Anlage

• Fachliche Zuordnung: Physik der kondensierten Materie
• Förderung: Förderung in 2017
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 361379292

Das beantragte Gerät wird benötigt, um die Expertisen der antragstellenden Gruppen in den Bereichen funktioneller magnetischer, optischer und organischer Dünnschichten in gemeinsamen Projekten kombinieren und die Materialsysteme zusammen in Bauteile integrieren zu können. Dies ist mit der momentan vorhandenen Ausstattung nicht möglich, da die Geräte separat betrieben werden, nicht zu einer Anlage zusammengeführt werden können und ein Vakuumbruch bei der Herstellung unbedingt vermieden werden muss.Vor diesem Hintergrund ist das beantragte Gerät so ausgelegt, dass es in der Lage ist, vielfältige Materialsysteme abzuscheiden, um damit auch für zukünftige Entwicklungen gewappnet zu sein. Weiterhin ersetzt es in Teilen vorhandene Ausstattung, die mehr als 30 Jahre alt ist und damit den Anforderungen der aktuellen Forschung bei weitem nicht mehr gewachsen ist.

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Großgeräte: Multifunktionale PVD Anlage
• Gerätegruppe: 8330 Vakuumbedampfungsanlagen und -präparieranlagen für Elektronenmikroskopie
• Antragstellende Institution: Universität Kassel
• Leiter: Professor Dr. Arno Ehresmann