Rasterelektronenmikroskop (REM)

• Subject Area: Materials Engineering
• Term: Funded in 2016
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 324327912

Im Rahmen einer Ersatzbeschaffung des Instituts für Werkstoffe muss für ein Rasterelektronenmikroskop (REM) aus dem Jahr 1983 ein modernes REM beschafft werden, da insbesondere im Transregio 103 viele zeitaufwändige REM-Untersuchungen durchgeführt werden. Das geplante REM soll, wie das Altgerät, mit einer LaB6-Kathode als Elektronenemitter und für chemische Analysen über ein System zur energiedispersiven Analyse von Röntgenstrahlung (EDX) verfügen. Die Abbildung von Bruchoberflächen soll über einen Sekundärelektronendetektor erfolgen. Für die Abbildung im Massenkontrast, zur Identifizierung von Einschlüssen, etc., muss das Gerät über einen Rückstreuelektronendetektor verfügen. Zur Abbildung von oxidierten Oberflächen, muss das Gerät über einen "low-Vakuummodus" verfügen, so dass eine evtl. störende Aufladung der Probenoberfläche vermieden werden kann (mit entsprechendem SE-Detektor). Die Nutzung eines im Bestand vorhandenen Zugmoduls soll, wie beim Altgerät, gegeben sein, so dass das geplante REM einen stabilen Probentisch mit großem Verfahrweg und eine große Probenkammer aufweisen muss. Damit beim Betrieb des REM keine Kollisionen von größeren Proben, insbesondere einkristalline Platten, mit dem Polschuh bzw. Rückstreudetektor auftreten, muss die genaue Probenlage über eine CCD-Kamera zu bestimmen sein.

• DFG Programme: Major Research Instrumentation
• Major Instrumentation: Rasterelektronenmikroskop (REM)
• Instrumentation Group: 5120 Rasterelektronenmikroskope (REM)
• Applicant Institution: Ruhr-Universität Bochum
• Leader: Professor Dr.-Ing. Gunther Eggeler