ΔE-Effekt-Sensoren (A04)

• Fachliche Zuordnung: Herstellung und Eigenschaften von Funktionsmaterialien ; Elektronische Halbleiter, Bauelemente und Schaltungen, Integrierte Systeme, Sensorik, Theoretische Elektrotechnik
• Förderung: Förderung seit 2016
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 286471992

Wir untersuchen integrierte Delta-E-Effekt-Sensoren sowie 2D- und 3D-Konfigurationen mit geringem Rauschen und niedrigem LOD. MEMS-Chips und CMOS-Elektronik werden via Europractice hergestellt und an der CAU nachbearbeitet. Kleine Sensoren bieten hohe örtliche Auflösung und die ausgereifte Fertigungstechnologie ergibt hohe Reproduzierbarkeit. Zentrale Hypothesen sind: Multilagen mit antiparallelem Exchange Bias und dickeren Schichten verbessern das LOD individueller Sensorelemente; Der modellgestützter Entwurf führt zu geeigneten Sensoren für biomedizinische Anwendungen; Wir können Flusskonzentratoren/-leiter und magnetische Anisotropie mit hoher Reproduzierbarkeit herstellen; Edge-Processing ermöglicht drahtloses Auslesen.

• DFG-Verfahren: Sonderforschungsbereiche
• Teilprojekt zu: SFB 1261: Magnetoelektrische Sensoren: von Kompositmaterialien zu biomagnetischer Diagnose
• Antragstellende Institution: Christian-Albrechts-Universität zu Kiel
• Teilprojektleiter: Professor Dr. Franz Faupel, bis 6/2024; Professor Dr. Robert Rieger, seit 7/2020; Dr.-Ing. Benjamin Spetzler