UHV-Sputterdepositionsanlage

• Subject Area: Condensed Matter Physics
• Term: Funded in 2015
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 276468825

Der neu besetzte Lehrstuhl für Experimentalphysik IV ist sehr stark materialwissenschaftlich ausgerichtet. Einen neuen Schwerpunkt bilden hierzu neuartige magnetische Funktionsmaterialien insbesondere basierend auf Seltenerd-Übergangsmetalverbindungen (u.a. TbFeCo). Zu dieser Forschungsrichtung existiert am Lehrstuhl für Experimentalphysik IV keine geeignete UHV-Sputterdepositionsanlage. Auch verfügt das Institut für Physik an der Universität Augsburg nicht über ein vergleichbares UHV-Sputterdepositionssystem, welches die benötigte Ausstattung (6 Sputterquellen, Probenheizung bis 850°C, Basisdruck < 10^-9 mbar, load-lock) speziell zur Deposition von reaktionsstarken Seltenen Erden (u.a. Ce, Gd, Tb) besitzt. Des Weiteren soll die Anlage mit einem Elektronenstahlverdampfer ausgestattet sein, um hochwertige epitaktische Keimschichten abscheiden zu können. Um die erfolgreiche Bearbeitung von verschiedenen Drittmittelprojekten und die Einwerbung von neuen Projekten aufrecht zu erhalten, ist ein derartiges Forschungsgerät mit der bereits genannten Ausstattung dringend erforderlich.

• DFG Programme: Major Research Instrumentation
• Major Instrumentation: UHV-Sputterdepositionsanlage
• Instrumentation Group: 8330 Vakuumbedampfungsanlagen und -präparieranlagen für Elektronenmikroskopie
• Applicant Institution: Universität Augsburg
• Leader: Professor Dr. Manfred Albrecht