Rasterelektronenmikroskop (REM; SEM)

• Fachliche Zuordnung: Materialwissenschaft
• Förderung: Förderung in 2015
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 274158331

Im Forschungscluster Nanoengineering der TU Ilmenau erforscht das FG Nanotechnologie in den DFG-Projekten Forschung & Entwicklung eines Nanostrukturdepositionsverfahrens neuartige Methoden zur Abscheidung von Nanoclustern. Bestandteil der Projekte ist die in-situ-Untersuchung der Bildung von Nanoclustern im Rasterelektronenmikroskop (REM). Bisher an der TU vorhandene Geräte erreichen nicht die notwendige Auflösung und sind nicht dazu geeignet, die notwendigen Zusatzmodule einzubauen. Zudem kann der erforderliche Betriebsstundenumfang für das FG Nanotechnologie nicht abgedeckt werden.Deshalb wird ein extrem hochauflösendes REM beantragt, dass sich zusätzlich an die spezifischen Anforderungen einer in-situ-Untersuchung anpassen lässt. Das Gerät kann auch im Rahmen des Zentrums für Mikro- und Nanotechnologien anderen Nutzern zur Verfügung gestellt werden, um den bestehenden Engpass an REM-Kapazität zu verringern. Die geplante Aufstellung im Meitnerbau trägt dazu bei, den dort arbeitenden Gruppen REM-Kapazität außerhalb des Reinraumes zur Verfügung zu stellen.

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Großgeräte: Rasterelektronenmikroskop (REM; SEM)
• Gerätegruppe: 5120 Rasterelektronenmikroskope (REM)
• Antragstellende Institution: Technische Universität Ilmenau
• Leiter: Professor Dr. Heiko Jacobs