Fokussiertes Ionenstrahlgerät / Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop (FIB/FEG-SEM)

• Subject Area: Materials Science
• Term: Funded in 2014
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 259780909

'Das Fokussierte Ionenstrahlgerät/Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop, hier kurz FIB/FEG-SEM genannt, ist ein flexibles und leistungsfähiges Werkzeug für den Mikro- und Nanobereich, das nicht nur zur Gewinnung hochauflösender zwei- und dreidimensionaler Bild- und Analysedaten, sondern auch zur Materialmodifikation für Strukturierungsaufgaben und Mikroprüfversuche sowie insbesondere zur Probenpräparation für die Transmissionselektronenmikroskopie (TEM) verwendet wird. Speziell für mehrphasige Proben und für moderne Verbundwerkstoffe, wie sie gerade im Sonderforschungsbereich 986 entwickelt werden und die aus Komponenten mit völlig unterschiedlichen Materialeigenschaften aufgebaut sind, ist der fokussierte Ionenstrahl oft die einzig verbleibende Möglichkeit zur Herstellung elektronentransparenter Folien für hochauflösende TEM-Untersuchungen. Die Lift-Out Technik mit Hilfe von Mikromanipulatoren ermöglicht zudem die Zielpräparation innerhalb weniger Nanometer und ist Voraussetzung für lokal definierte Untersuchungen an den Materialien. Aber auch Strukturierungsaufgaben durch Materialabtrag oder Deposition sowie die dreidimensionale Rekonstruktion von Volumen im Bereich von mehreren Kubikmikrometern mit einer Auflösung von wenigen Nanometern sind Alleinstellungsmerkmale der FIB/FEG-SEM und unbedingt notwendiges Forschungswerkzeug in den Materialwissenschaften, der Katalyseforschung, der Mikrosystemtechnik, der Biosystemtechnik und der Bauphysik an der Technischen Universität Hamburg-Harburg. Die programmierbare Ansteuerbarkeit und Erweiterbarkeit moderner FIB ermöglicht zudem die flexible Anpassung des Gerätes an zukünftige Materialien, Methoden und Anwendungen.'

• DFG Programme: Major Research Instrumentation
• Major Instrumentation: Fokussiertes Ionenstrahlgerät / Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop (FIB/FEG-SEM)
• Instrumentation Group: 5120 Rasterelektronenmikroskope (REM)
• Applicant Institution: Technische Universität Hamburg
• Leader: Dr.-Ing. Martin Ritter