Rolled-Up Microsystems
Final Report Abstract
Das Rolled-up MEMS (RUMs) Projekt hatte als zentrale Zielsetzung die Herstellung gerollter zylindrischer Systeme, welche in der Ebene strukturiert wurden. Dieser Ansatz erlaubt es ein Vielzahl von etablierten planaren Strukturierungsverfahren im gerollten Zustand für neuen Anwendung zu verwenden. Die Ansätze beschäftigten sich mit der Modifikation des Substratmaterials um dessen Selbstrolleigenschaften zu modifizieren, wie auch mit den Anwendungen die sich aus solchen gerollten Systemen ergeben. Hier lag der Fokus auf mikrofluidischen Zellkulturen und Magnet Resonanz (MR) Sensoren. Das RUM Projekt führte zu einer Vielzahl an innovativen Forschungsergebnissen. Neben geplanten und daher quasi absehbaren Ergebnissen ergaben sich im Laufe des Projekts durch die erzielten Ergebnisse auch neue Fragestellungen und damit auch neuartige Lösungen. Diese Ergebnisse weichen teilweise vom im Antrag primär anvisierten Ziel der selbstgerollten Mikro-(fluidik-)struktur ab, gehören aber trotzdem zu dem Themenkreis der gerollten Mikrosysteme, da auch hier die Funktion im gerollten Zustand ist, während die Strukturierung im Planaren stattfindet. Zusammenfassend kann gesagt werden, dass obwohl nicht alle ursprünglichen Ideen in der anvisierten Form umgesetzt werden konnten, durch die im Laufe der Bearbeitung neu erschlossenen Themen, das Projekt einen sehr erfolgreichen Verlauf genommen hat. Vor allem auf dem Gebiet der Mikromagnetresonanzspektroskopie und -tomographie konnten eine Vielzahl von bisher in ihrer Komplexität und Präzision unerreichter Sensorgeometrien realisiert werden.
Publications
- (2018) Fast prototyping of microtubes with embedded sensing elements made possible with an inkjet printing and rolling process. J. Micromech. Microeng. (Journal of Micromechanics and Microengineering) 28 (2) 025003
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(See online at https://doi.org/10.1088/1361-6439/aa7a61) - Maskless production of metallic coil structures for an application in MRI, 6th International conference on advanced and rapid prototyping, 1-5 October 2013, Leiria, Portugal
N. Wang, P. Bollgrün, K. Steffen, D. Mager, J.G. Korvink
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N. Wang, A. Egunov, N. Spengler, V. Luchnikov, D. Mager, J.G. Korvink
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A.I. Egunov, J.G. Korvink, V.A. Luchnikov
(See online at https://doi.org/10.1039/c5sm01139f) - Magnetic Flux Tailoring through Lenz Lenses in Toroidal Diamond Indenter Cells: A New Pathway to High Pressure Nuclear Magnetic Resonance
T. Meier, S. Petigirard, N. Wang, D. Mager, J.G. Korvink, S. Petigirard, L. Dubrovinsky
