Schattenbedampfungsanlage mit Schleusenkammer

• Subject Area: Condensed Matter Physics
• Term: Funded in 2013
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 234724361

„Die Aufdampfanlage zur Schattenbedampfung von Metallen und insbesondere supraleitender Materialien ist für die Herstellung von Mikro- und Nanostrukturen mit Anwendung in der Quanteninformationstechnologie zwingend notwendig. Hohe Anforderungen an Genauigkeit und Reproduzierbarkeit bei der in-situ-Herstellung funktionaler Mehrschichtbauelemente erfordern hochpräzise Depositionssubstrathalter, um die durch die vorhandene hochaufgelöste Elektronenstrahllithografie gesetzten Grenzen mit Hilfe der Schattenbedampfung weiter auszureizen.“

• DFG Programme: Major Research Instrumentation
• Major Instrumentation: Schattenbedampfungsanlage mit Schleusenkammer
• Instrumentation Group: 8330 Vakuumbedampfungsanlagen und -präparieranlagen für Elektronenmikroskopie
• Applicant Institution: Karlsruher Institut für Technologie
• Leader: Professor Dr. Alexey V. Ustinov, Ph.D.
• Participating Researchers: Professor Dr. Gernot Goll; Professor Dr. Michael Siegel; Professor Dr. Georg Weiß