Laserstrahlverdampfungsanlage

• Fachliche Zuordnung: Physik der kondensierten Materie
• Förderung: Förderung in 2013
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 234548541

„Die beantragte Beschichtungsanlage soll für die Herstellung neuartiger Flüstergalerieresonatoren (FGR) eingesetzt werden, bei denen das Licht durch mehrere Materialien gleichzeitig propagiert. Konkret sind folgende Projekte geplant: (1) Optisch parametrische Oszillation in FGR, (2) „Thermospektroskopie“ mit FGR, (3) Ultrastabile Referenzresonatoren, (4) LED-gepumpte Frequenzkonverter, (5) Kompositschichtresonatoren. Dafür ist ein Beschichtungssystem erforderlich, mit dem sich Mikrometer-dicke Schichten aus kristallinen, glasartigen und polymeren Materialien herstellen lassen. Wegen der besonderen Beschichtungsgeometrie und der Kompatibilität zu den in der Arbeitsgruppe etablierten Resonatorhaltern muss die Beschichtungsanlage speziell angepasst werden. Die angestrebten Schichtdicken und die notwendige Materialflexibilität erfordern eine Laserstrahlbedampfungsanlage. Sämtliche Spezifikationen werden vom beantragten System erfüllt. Dieses bietet als einziges zusätzlich die geforderte Anpassung an spheroidische Substrate und auch die Möglichkeit des einfachen Umbaus zu einer Konfiguration für Standardbeschichtungen.“

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Großgeräte: Laserstrahlverdampfungsanlage
• Gerätegruppe: 8330 Vakuumbedampfungsanlagen und -präparieranlagen für Elektronenmikroskopie
• Antragstellende Institution: Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
• Leiter: Professor Dr. Karsten Buse