Detailseite
Projekt
Test und Simulation
Antragsteller
Dr.-Ing. Christoph Schäffel (†)
Fachliche Zuordnung
Elektronische Halbleiter, Bauelemente und Schaltungen, Integrierte Systeme, Sensorik, Theoretische Elektrotechnik
Förderung
Förderung von 2012 bis 2019
Projektkennung
Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 169536409
In Teilprojekt 5 der Forschergruppe MUSIK werden konzentrierte Grundblöcke bzw. Bibliothekselemente entwickelt, die die Basis für die Bauelementesimulationen in den Teilprojekten 2 und 3 sowie die Systemsimulationen in den Teilprojekten 1 und 4 bilden. Im Hinblick auf die dort zur Anwendung kommenden Analyse‐ und Syntheseverfahren besteht das Ziel darin, das Verhalten der Bibliothekselemente mittels differential‐algebraischer Gleichungen oder ggf. analytisch zu beschreiben. Bibliothekselemente können in Abhängigkeit von der jeweiligen HF‐MEMS‐Struktur sowohl Aufbau‐, Verhaltens‐ als auch Strukturmodelle sein. Wesentliche Arbeitspakte des Teilprojektes widmen sich daher der Entwicklung von Verhaltensmodellen mikroelektromechanischer Systeme sowie deren Finite‐ Elemente‐Modellierung und mechanischer Validierung anhand von Testmessungen, der Modellierung und Validierung von Materialspannungen und der modellbasierten Bewertung der spezifisch für MUSIK ausgelegten Aufbau‐ und Verbindungstechnik hinsichtlich Spannungsminimierung. Für eine SiCer‐basierte Plattform wird gemeinsam mit Teilprojekt 7 ein auf statistischer Beschreibung basierender Modellierungsansatz entwickelt, um die Nanostrukturierung mit dem Makromodell des Substrates zu verbinden und so Aussagen zur Größe der mechanischen Spannungen und der darauf angepassten Prozessführung treffen zu können.
DFG-Verfahren
Forschungsgruppen
