Digitales, höchstauflösendes FEG-Rasterelektronenmikroskop mit Focused Ion Beam Zusatz und Gas Injection System

• Subject Area: Condensed Matter Physics
• Term: Funded in 2011
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 174101287

"Untersuchung von halbleitenden Materialien aus der Photovoltaik hinsichtlich Struktur, Defekten und Defektverteilungen; Untersuchungen von Halbleitermaterialien und ihre Grenzflächen, Analysen innerhalb der Mikro- und Nanoelektronik; Analyse von Schichtsystemen; Charakterisierung von Materialien für Halbleiterspeicher; Untersuchungen an Materialien für charge trapping Speicher und schaltbaren anorganischen und organischen Materialien; Untersuchungen innerhalb der Siliziumchemie• Materialien für chemische Sensoren wie z.B. Speicherelemente auf der Grundlage von Oxidmaterialen und Feldeffekttransistoren• Untersuchungen von transparenten leitfähigen Kontakten (ZnO) und Passivierungsdünnfilmen (Al2O3)• Adsorptionsphänomene an Oberflächen und in mikroporösen Strukturen, Analysen zur industriellen Biokatalyse• Charakterisierung keramischer Pulver und Beschichtungen auf Basis von Übergangsmetall-oxiden, -oxynitriden, -oxycarbiden• 3D-Zielpräparation und lokale Charakterisierung"

• DFG Programme: Major Research Instrumentation
• Instrumentation Group: 5120 Rasterelektronenmikroskope (REM)
• Applicant Institution: Technische Universität Bergakademie Freiberg
• Leaders: Professor Dr. Dirk Carl Meyer, since 11/2011; Professor Dr. Hans-Joachim Möller, until 11/2011