High-dynamic nanopositioning for small areas (A11*)

• Subject Area: Automation, Mechatronics, Control Systems, Intelligent Technical Systems, Robotics
• Term: from 2009 to 2013
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5485337

Das Konzept der Nanopositionier- und Nanomessmaschine (NPMM) erlaubt eine positionsgenaue sequentielle Kombination vorcharakterisierter Messprinzipien mit Nanometerauflösung in einem extrem großen Messvolumen. Die externen Positions- und Auslenkungs-detektierungsmechanismen limitieren die Dynamik der Maschine und erlauben keine Anpassung der Zeitkonstante von einem zu untersuchenden physikalischen, chemischen oder biomolekularen Prozess, insbesondere wenn diese Prozesse in wenigen Millisekunden („Echtzeit“) ablaufen. Eine schnelle dynamische Nano-Positioniervorrichtung für kleine Bewegungsbereiche (DNPV) in Kombination mit der NPMM soll es ermöglichen, mit Nano- Werkzeugen oder Sonden eine positionsgenaue Analyse in Echtzeit mit Nanometerauflösung durchzuführen.

• DFG Programme: Collaborative Research Centres
• Subproject of: SFB 622: Nanopositioning- and Nanomeasuring Machines
• Applicant Institution: Technische Universität Ilmenau
• Project Head: Professor Dr.-Ing. Ivo W. Rangelow