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Projekt
Laserlithografiegerät
Fachliche Zuordnung
Zoologie
Förderung
Förderung in 2009
Projektkennung
Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 113438568
Keine Zusammenfassung vorhanden
DFG-Verfahren
Forschungsgroßgeräte
Gerätegruppe
0910 Geräte für Ionenimplantation und Halbleiterdotierung
Antragstellende Institution
Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
Campus Süd (aufgelöst)
Campus Süd (aufgelöst)
