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Professor Dr. Julian Schulze

Adresse Ruhr-Universität Bochum
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Lehrstuhl für Allgemeine Elektrotechnik und Plasmatechnik
Universitätsstraße 150
44801 Bochum

ORCID-ID 0000-0001-7929-5734

Projekte

Als Antragsteller
- laufende Projekte
  - Elektronenheizung in reaktiven und magnetisierten kapazitiven Radio Frequenz Plasmen: Von fundamentalem Verständnis zu wissensbasierter Prozesskontrolle (Sachbeihilfen)
- abgeschlossene Projekte
  - Plasmabasierte Prozessführung von reaktiven Sputterprozessen (Sachbeihilfen)
  - Strukturierte Dielektrisch Behinderte Plasmen für umwelt- und biomedizinische Anwendungen: Vom Grundlagenverständnis zur Prozesskontrolle (Sachbeihilfen)
Als Teilprojektleiter
- laufende Projekte
  - Prozesskontrolle in Mikro-Atmosphärendruck-RF-Plasmajets mittels maßgeschneiderter Spannungsformen und Grenzflächen (Sonderforschungsbereiche)
  - Von ns- zu ms-Pulsen - Einfluss der Spannungscharakteristik auf oberflächliche dielektrische Barrierenentladungen (Sonderforschungsbereiche)
  - Fibre PROES - eine Diagnostik für wissensbasierte Entwicklung und Überwachung industrieller Plasmaprozesse mittels zeitaufgelöster optischer Emissionsspektroskopie (Transregios)
- abgeschlossene Projekte
  - Multifrequenz Sputtering zur Abscheidung von keramischen Schichten (Transregios)

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