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Professor Dr. Joachim Frühauf

Adresse Technische Universität Chemnitz
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik
09107 Chemnitz

Projekte

Als Antragsteller
- abgeschlossene Projekte
  - Laserumformung von Silizium-Mikrostrukturen als Formgebungsverfahren in der Mikrotechnologie (Sachbeihilfen)
  - Heißprägen multifunktionaler Kalibriernormale für bildverarbeitende Mikroskope zum Messen von Mikrosystemen und Nanostrukturen (Schwerpunktprogramme)
  - Entwicklung von Röntgenoptiken aus Elementen der Siliziummikrotechnik (Sachbeihilfen)

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