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Professor Dr.-Ing. Herbert Reichl
Adresse
Technische Universität Berlin
Institut für Hochfrequenz- und Halbleiter-Systemtechnologien
Fachgebiet Mikroelektronik - Aufbau- und Verbindungstechniken
Gustav-Meyer Allee 25
13355 Berlin
- Als Antragsteller
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Als beteiligter Wissenschaftler
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abgeschlossene Projekte
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GRK 1215: Materialien und Konzepte für fortschrittliche Metallisierungssysteme (Internationale Graduiertenkollegs)
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abgeschlossene Projekte
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Als Teilprojektleiter
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abgeschlossene Projekte
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Sensoren zur Prozeßführung und Zustandserkennung (Sonderforschungsbereiche)
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abgeschlossene Projekte