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Project Details

Person

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Professor Dr. Anton Heuberger

Address Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie (ISIT)
Fraunhoferstraße 1
25524 Itzehoe

Projects

As Applicant
- Completed projects
  - Randabschluß und Sperreigenschaften des MOS-gesteuerten, bidirektionalen Schalters, MBS (Priority Programmes)
  - Silizium-Hochratenätzen zur Herstellung tiefer Trenches für Super-Junction-Strukturen in der Hochvolt-PowerMOS Anwendung (Priority Programmes)
As Participating Person
- Completed projects
  - Untersuchung und Optimierung der magnetoelastischen und der Hochfrequenzeigenschaften von weichmagnetischen Dünnschichten am Beispiel induktiver Mikrobauelemente (Research Grants)
  - Randabschluß und Sperreigenschaften des MOS-gesteuerten, bidirektionalen Schalters, MBS (Priority Programmes)

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