Project Details

Professor Dr. Ignaz Eisele

Address Universität der Bundeswehr München
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Institut für Physik
Werner-Heisenberg-Weg 39
85579 Neubiberg

Projects

As Applicant
- Completed projects
  - Physikalische und chemische Eigenschaften von Bor-Oberflächenphasen auf Silizium (111) (Research Grants)
  - Untersuchung des Aktivierungs- und Diffusionsverhaltens von Bor in polykristallinen SiGe-Gate-Elektroden für MOS-Transistoren (Research Grants)
  - Vertikale MOS-Bauelemente mit Delta-Dotierprofilen (Research Units)
  - Steigerung der Leistung von MOS-Bauelementen durch Stoßionisation (Research Grants)
As Participating Person
- Completed projects
  - Elektronische Eigenschaften und Diffusionsverhalten oberflächennaher Dotierschichten (Research Units)
  - Charakterisierung von inneren Grenzflächen im Hinblick auf ultra-flache Kontakte und vergrabene Heterostrukturen (Research Units)

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