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Institution

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Technische Hochschule Wildau

Adresse Hochschulring 1
15745 Wildau
Deutschland

GERiT Diese Institution in GERiT

15745 Wildau

Projekte

Sachbeihilfen
- abgeschlossene Projekte
  - Atomlagenabscheidung von Germanium-Antimon-Tellurid
    (Antragsteller Burte, Edmund P. ; Edelmann, Frank T. )
  - Atomlagenabscheidung von Germanium-Antimon-Tellurid
    (Antragsteller Burte, Edmund P. ; Edelmann, Frank T. )
  - Chemische Gasphasenabscheidung von super-harten Ruthenium-Diborid-Schichten
    (Antragsteller Burte, Edmund P. )
  - Dotierung von Ge und SiGe aus dotierstoffhaltigen mittels ALD erzeugten Schichten: Abscheidung – Flash-Lamp-Annealing – SIMS-Metrologie
    (Antragsteller Burte, Edmund P. ; Mai, Andreas ; Rebohle, Lars )
  - Entwurf, Optimierung, CMOS-kompatible Herstellung und Charakterisierung von abstimmbaren planaren/koplanaren DGS-Filtern
    (Antragsteller Burte, Edmund P. ; Omar, Abbas )
  - Herstellung ultraflacher pn-Übergänge in Silizium durch Kurzzeit-Diffusion aus einer durch Atomic Layer Deposition abgeschiedenen Dotierstoffquelle
    (Antragsteller Burte, Edmund P. )
  - Herstellung und Charakterisierung der ferroelektrischen Schichten Strontium-Bismut-Tantalat aus Ein- und Zweikomponenten-Precursoren
    (Antragsteller Burte, Edmund P. )
  - Herstellung und Charakterisierung von silberhaltigen dünnen Germanium-Selen Schichten
    (Antragsteller Burte, Edmund P. )
  - Kapazitive und ohmsche mikroelektromechanische Schalter mit Brückenstrukturen aus Federstahl, insbesondere für Hochfrequenzanwendungen
    (Antragsteller Burte, Edmund P. ; Omar, Abbas )
  - Kurzzeit-Gasphasendotierung von Silizium
    (Antragsteller Burte, Edmund P. )
  - Metallorganische Gasphasenabscheidung von dünnen Germanium-Antimon-Tellurid-Schichten
    (Antragsteller Burte, Edmund P. )
  - MOCVD von Strotium-Bismut-Tantalat / Bismut-Tantalat-Niobat - Schichten und ferroelektrische Speicherkondensatoren
    (Antragsteller Burte, Edmund P. )
  - Ruthenium-Nanostäbe als Bodenelektrode für dreidimensional aufgebaute Kondensatoren
    (Antragsteller Burte, Edmund P. )
Forschungsgroßgeräte
- abgeschlossene Projekte
Publizieren und Lizenzieren
- abgeschlossene Projekte
  - Open Acccess Publizieren 2018 - 2019 / TH Wildau
    (Antragsteller Ungvári, László )

Untergeordnete Institutionen

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